聯系我(wǒ)們

咨詢電(diàn)話(huà)：0551-65652905

咨詢地址：合肥市高新區燕子河路388号億智科技産業園1棟2F

聯系郵箱：info@gehuijingmi.com

返回上一(yī)級
三軸直驅定位平台

速度穩定性 1‰

重複定位精度 ±0.3μm

軟硬件控制方案全自研

提供定制化服務

|  産品詳情

技術指标

 數據

有效行程

X軸:350mm   Y軸:350mm

最大(dà)速度

X軸:400mm/s   Y軸:400mm/s

速度穩定性

X軸:1‰   Y軸:1‰  

最大(dà)加速度 

X軸:0.6G   Y軸:0.6G

重複定位精度

X軸:±0.3μm   Y軸:±0.3μm   θ軸：±1.5arcsec

絕對定位精度

X軸:±0.5μm   Y軸:±0.5μm   θ軸：±10arcsec

整定時間

X軸:50ms   Y軸:50ms

直線度

X軸:±2μm   Y軸:±2μm

行走平面度

X軸:±3μm   Y軸:±3μm

最大(dà)負載 

10kg 

正交度

±5μm

光栅尺分(fēn)辨率

0.1μm
填寫資(zī)料
姓名 *
電(diàn)話(huà) *
所在單位 *
下(xià)載用途 *
首頁 産品中(zhōng)心 應用領域 聯系我(wǒ)們