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亞微米級精密運動平台

速度穩定性 1‰

重複定位精度 ±0.3μm

軟硬件控制方案全自研

提供定制化服務

|  産品詳情

技術指标

 數據

有效行程

X軸:300mm  Y軸:300mm

最大(dà)速度

X軸:800mm/s  Y軸:800mm/s

行走平面度

X軸:±3μm  Y軸:±3μm

最大(dà)加速度 

X軸:1G  Y軸:1G

重複定位精度

X軸:±0.3μm   Y軸:±0.3μm

絕對定位精度

X軸:±0.5μm   Y軸:±0.5μm

直線度

X軸:±1.5μm   Y軸:±1.5μm

最大(dà)負載

10kg

光栅尺分(fēn)辨率

0.1μm
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