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咨詢電(diàn)話(huà)：0551-65652905

咨詢地址：合肥市高新區燕子河路388号億智科技産業園1棟2F

聯系郵箱：info@gehuijingmi.com

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亞微米級精密運動平台

速度穩定性 1‰

重複定位精度 ±0.5μm

軟硬件控制方案全自研

提供定制化服務

|  産品詳情

技術指标

 數據

有效行程

X軸:500mm  Y軸:500mm

最大(dà)速度

X軸:400mm/s  Y軸:400mm/s

速度穩定性

X軸:1‰  Y軸:1‰  

最大(dà)加速度 

X軸:0.6G  Y軸:0.6G

重複定位精度

X軸:±0.5μm  Y軸:±0.5μm

絕對定位精度

X軸:±0.8μm  Y軸:±0.8μm

整定時間

X軸:50ms  Y軸:50ms

直線度

X軸:±2μm  Y軸:±2μm

行走平面度

X軸:±3μm  Y軸:±3μm

最大(dà)負載 

10kg 

正交度

±5μm

光栅尺分(fēn)辨率

0.1μm
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