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咨詢地址：合肥市高新區燕子河路388号億智科技産業園1棟2F

聯系郵箱：info@gehuijingmi.com

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龍門雙驅三軸精密運動平台

重複定位精度 ±1μm

軟硬件控制方案全自研

提供定制化服務

|  産品詳情

技術指标

 數據

有效行程

X軸:300mm    Y軸:300mm

最大(dà)速度

X軸:600mm/s    Y軸:600mm/s

最大(dà)加速度 

X軸:0.6G    Y軸:0.6G

重複定位精度

X軸:±0.5μm  Y軸:±1μm   θ軸：±2arcsec

直線度

X軸:±4μm   Y軸:±4μm

最大(dà)負載 

10kg 

正交度

±5μm

光栅尺分(fēn)辨率

0.1μm
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