技術指标 |
數據 |
有效行程 |
X軸:300mm Y軸:300mm |
最大(dà)速度 |
X軸:600mm/s Y軸:600mm/s |
最大(dà)加速度 |
X軸:0.6G Y軸:0.6G |
重複定位精度 |
X軸:±0.5μm Y軸:±1μm |
直線度 |
X軸:±4μm Y軸:±4μm |
行走平面度 |
X軸:±5μm Y軸:±5μm |
負載 |
10kg |
正交度 |
±5μm |
光栅尺分(fēn)辨率 |
0.1μm |