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定龍門直驅定位平台

速度穩定性 1‰

重複定位精度 ±1μm

軟硬件控制方案全自研

提供定制化服務

|  産品詳情

技術指标

 數據

最大(dà)速度

500mm/s 

最大(dà)加速度 

1G

重複定位精度

≤±1μm  

定位精度（補償後）

≤±1.5μm  

直線度

≤5μm 

垂直度

≤8μm 

光栅尺分(fēn)辨率

0.1μm
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